潔凈室氣密性檢測(cè)方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗(yàn)要求，但條件允許
時(shí)，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗(yàn)，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗(yàn)。
G.1.2 可按以下方法進(jìn)行檢測(cè)：
1 壓力衰減法
使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓),關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系 統(tǒng)，觀察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始?jí)毫Φ?/span>
一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測(cè)量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內(nèi)達(dá)到某一正壓，同時(shí)向室內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的 穩(wěn)定值而不下降時(shí)的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓，
使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測(cè)試系統(tǒng)如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測(cè)
1 將所測(cè)潔凈室的溫度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記 錄壓力衰減測(cè)試過(guò)程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計(jì)或溫度傳感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，
并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
3 開(kāi)啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至已商定的測(cè)試壓力(壓力 計(jì)量程至少為測(cè)試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 壓
力穩(wěn)定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門。
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1-潔凈室；2—送風(fēng)機(jī)；3—調(diào)節(jié)閥；4—密閉閥；5--微壓計(jì)；6一排風(fēng)機(jī)
4 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門，如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不 嚴(yán)，應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開(kāi)啟排風(fēng)， 使室內(nèi)壓力下降至已商定的測(cè)試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風(fēng)，
關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。
5 從停止送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數(shù)據(jù)，每 1min 記錄1次壓差和溫度，連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始?jí)?/span>
力的一半時(shí)止。
6 測(cè)試結(jié)束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
8 當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時(shí)也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
G.2.3 檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容，
1 檢測(cè)條件，包括室內(nèi)溫度等。
2 檢測(cè)方法包括檢測(cè)所用儀器設(shè)備規(guī)格型號(hào)及精度；所測(cè)
潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化；檢測(cè)持續(xù)的時(shí)間。
3 檢測(cè)結(jié)果包括所測(cè)潔凈室壓力下降至初始?jí)毫Φ?/span>1/ 2時(shí)的時(shí)間內(nèi)壓力衰減率；所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的
評(píng)價(jià)。
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G.3 恒 壓 法
G.3.1 測(cè)試系統(tǒng)如圖 G.3.1 所示。
圖 G.3.1 恒壓法測(cè)試系統(tǒng)
1—潔凈室；2—送風(fēng)機(jī)；3—調(diào)節(jié)閥；4—密閉閥；5 微壓計(jì)；
6—排風(fēng)機(jī)；7—氣泵；8—流量計(jì)；9—真空泵
注：正壓檢驗(yàn)時(shí)用氣泵，負(fù)壓檢驗(yàn)時(shí)用真空泵
G.3.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測(cè)：
1 將所測(cè)潔凈室的溫度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記 錄測(cè)試過(guò)程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計(jì)或溫度傳感器的最小示值
不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的閥門，如果風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴(yán)，應(yīng)在回風(fēng)
口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。
3 開(kāi)啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至500Pa, 停止送風(fēng)，關(guān)閉
送風(fēng)閥門。
通過(guò)圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的孔洞和導(dǎo)管，由送風(fēng)機(jī)或空氣壓縮機(jī)向室 內(nèi)補(bǔ)氣，通過(guò)調(diào)節(jié)安裝在導(dǎo)管上的調(diào)節(jié)閥調(diào)整補(bǔ)氣流量，以維持 潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降，每隔1min 記錄一次補(bǔ)氣管路上浮
子流量計(jì)讀數(shù)，此數(shù)即為漏氣量，測(cè)試持續(xù)的時(shí)間宜不超過(guò)
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5min, 取平均值。
4 反之關(guān)閉送風(fēng)閥，開(kāi)啟排風(fēng)，當(dāng)室內(nèi)壓力下降至一500Pa 時(shí)關(guān)閉排風(fēng)，開(kāi)啟真空泵保持室內(nèi)壓力，記錄真空泵抽氣量，此
數(shù)即漏泄量。
5 測(cè)試結(jié)束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
6 如果需要進(jìn)行重復(fù)測(cè)試，20min 后進(jìn)行。
7 當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時(shí)也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
G.3.3 檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容：
1 檢測(cè)條件，包括室內(nèi)溫度等。
2 檢測(cè)方法包括檢測(cè)所用儀器設(shè)備規(guī)格型號(hào)及精度；室內(nèi)
溫度的動(dòng)態(tài)變化；漏泄量的動(dòng)態(tài)變化。
3 檢測(cè)結(jié)果包括所測(cè)潔凈室5min 內(nèi)的每小時(shí)漏泄率；所
測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評(píng)價(jià)。
G.4 安 全 要 求
G.4.1 應(yīng)制定防范預(yù)案。
G.4.2 必須對(duì)被檢驗(yàn)室內(nèi)的溫度進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
G.4.3 恒壓法測(cè)試持續(xù)時(shí)間不宜太長(zhǎng)。