無(wú)塵車(chē)間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
分類(lèi)：
1.亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制
無(wú)塵室
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3.復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
構(gòu)成：
⑴天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。
⑵空調(diào)系統(tǒng)： 包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。
⑶隔墻板： 包括窗戶、門(mén)。
⑷地板： 包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具： 包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造：一般是用鋼筋或骨水泥
五大特性：
1耐久性；2成本；3適應(yīng)性；4維護(hù)性；5清洗。
⑴ 耐久性：
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
⑵ 清洗：
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止過(guò)濾性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
⑶ 成本：
微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而 "錢(qián)" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
⑷ 適應(yīng)性：
一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián)，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致極大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將最初的設(shè)計(jì)定型。
⑸ 維護(hù)性：
對(duì)無(wú)塵車(chē)間 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng)，其可過(guò)濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開(kāi)來(lái)，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說(shuō) ：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢(qián)外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過(guò)濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須精確。