潔凈技術(shù)（cleanroom）是適應(yīng)實驗研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。潔凈室（cleanroom）這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫(yī)學，當時的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境。現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個名詞，但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同，現(xiàn)代潔凈室形成一項專門技術(shù)，其歷史不過只有半個世紀。
我國空氣過濾器潔凈技術(shù)的發(fā)展大致可分為以下幾個階段：
● 20世紀60年代開始—— 為三線建設(shè)服務(wù)—— 初創(chuàng)發(fā)展階段；
● 7 0年代～80 年代中—— 為大規(guī)模集成電路會戰(zhàn)服務(wù)—— 第一次大普及；
● 8 0年代中期～現(xiàn) 在—— 為醫(yī)藥行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境現(xiàn)代化服務(wù)（GMP、潔凈手術(shù)室建設(shè)等）— 第二次大普及。
1）從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯(lián)的技術(shù)，服務(wù)于國防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈技術(shù)相比，在廠房、設(shè)備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
2）從20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內(nèi)外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當時參照了美國和日本的標準和技術(shù)，逐步研制成高效過濾器和納焰法 試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數(shù)器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設(shè)備（風淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”，奠定了我國潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)
3）從20世紀70年代末到80年代末，由于實行了改革開放的國策，發(fā)達國家的技術(shù)與設(shè)備開始進入我國市場，現(xiàn)代潔凈技術(shù)在我國的大規(guī)模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，裝備0.1um高效過濾器的10級潔凈小室和無隔板過濾器研制成功。同時在醫(yī)療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應(yīng)用，一些制藥廠對原有空調(diào)系統(tǒng)的改造中開始采用生物潔凈技術(shù)，簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫(yī)院，生物安全工作臺和細菌采樣儀研制成功。1982年我國醫(yī)藥行業(yè)GMP公布，1983年中國電子學會潔凈技術(shù)分會成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》頒布，我國的潔凈技術(shù)進入穩(wěn)步發(fā)展階段、
4） 20世紀80年代末至今，在大規(guī)模集成電路領(lǐng)域全面引進境外資金、技術(shù)與設(shè)備，形成一批知名的國際品牌企業(yè)，潔凈室的規(guī)模越來越大，風機過濾機組（FFU）和微環(huán)境技術(shù)得到應(yīng)用和推廣。在醫(yī)療和制藥領(lǐng)域潔凈技術(shù)趨向成熟與規(guī)范，生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無隔板高效過濾器、微計算機控制過濾器性能測試臺等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設(shè)備基本可以實現(xiàn)國產(chǎn)，同時還開始了0.1um光刻機及相關(guān)環(huán)境的研制。
我國的空氣潔凈技術(shù)經(jīng)歷了50多年的發(fā)展，已經(jīng)形成相當完整的技術(shù)體系和廣闊的應(yīng)用市場，但必須看到，由于種種原因，在潔凈技術(shù)的高端領(lǐng)域和市場，我國還存在差距、缺少話語權(quán)，還需要科技和工程技術(shù)人員的不斷努力。
現(xiàn)在，我國的潔凈室技術(shù)已發(fā)展到以下水平。
①從軍工走向民用——制藥、醫(yī)療、食品；
②從高精走向普及——不僅高精尖產(chǎn)業(yè)要求，一般民需產(chǎn)業(yè)和家庭生活也出現(xiàn)大量需求；
③從國內(nèi)走向國外——空氣凈化產(chǎn)品和潔凈室工程已走出國門。