潔凈室氣密性檢測(cè)方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗(yàn)要求，但條件允許
時(shí)，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗(yàn)，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗(yàn)。
G.1.2 可按以下方法進(jìn)行檢測(cè)：
1 壓力衰減法
使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓),關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系 統(tǒng)，觀察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始?jí)毫Φ?/span>
一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測(cè)量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內(nèi)達(dá)到某一正壓，同時(shí)向室內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的 穩(wěn)定值而不下降時(shí)的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓，
使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測(cè)試系統(tǒng)如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測(cè)
1 將所測(cè)潔凈室的溫度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記 錄壓力衰減測(cè)試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計(jì)或溫度傳感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，
并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
3 開啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至已商定的測(cè)試壓力(壓力 計(jì)量程至少為測(cè)試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 壓
力穩(wěn)定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門。
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圖 G.2.1 壓力衰減法系統(tǒng)
1-潔凈室；2—送風(fēng)機(jī)；3—調(diào)節(jié)閥；4—密閉閥；5--微壓計(jì)；6一排風(fēng)機(jī)
4 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門，如果送風(fēng)管上無閥或閥不 嚴(yán)，應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開啟排風(fēng)， 使室內(nèi)壓力下降至已商定的測(cè)試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風(fēng)，
關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。
5 從停止送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數(shù)據(jù)，每 1min 記錄1次壓差和溫度，連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始?jí)?/span>
力的一半時(shí)止。
6 測(cè)試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥，使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
7 如果需要進(jìn)行重復(fù)測(cè)試，20min 后進(jìn)行。
8 當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時(shí)也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
G.2.3 檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容，
1 檢測(cè)條件，包括室內(nèi)溫度等。
2 檢測(cè)方法包括檢測(cè)所用儀器設(shè)備規(guī)格型號(hào)及精度；所測(cè)
潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化；檢測(cè)持續(xù)的時(shí)間。
3 檢測(cè)結(jié)果包括所測(cè)潔凈室壓力下降至初始?jí)毫Φ?/span>1/ 2時(shí)的時(shí)間內(nèi)壓力衰減率；所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的
評(píng)價(jià)。