第一代：銀離子凈化技術
簡單地說就是把銀塊離子化吹到空氣中以起到殺菌的效果缺點產品成本高，細菌殺滅率低，對病毒幾乎沒有殺滅特性。產品代表：早期的松下空氣凈化器。
第二代：離子技術
主要原理是運用靜電釋放負離子，吸附集中空氣中的粉塵起到降塵作用，同時負離子對空氣中的氧氣也有電離成臭氧的作用，對細菌有一定的殺滅作用，這類產品優(yōu)點是產品生產成本較低。
第三代：溫等離子技術
主要原理是，通過給氣體外加電壓至氣體的放電電壓，使氣體被擊穿，產生各種強氧化性的低溫等離子，并在極短時間內把接觸。
三、空氣凈化工程的應用
空氣凈化工程在提高產品質量等方面有很明顯的效果，據(jù)文獻的報導，對于半導體在10000級和l00級潔凈室中制造的產品通過耐壓試驗，在l00級潔凈室和外大氣環(huán)境中進行晶體管涂布擴散，100級潔凈室中產品的性能分布集中，而且峰值出現(xiàn)在更高性能的地方。
但是，和對待任何事物不能絕對化一樣，對待空氣潔凈技術的作用也不能絕對化，不能把提高產品質量的作用完全歸之于它。據(jù)材料分析，例如對于半導體元件部門，空氣潔凈技術在提高產品質量方面的作用大約在整個生產中占的比重為20%，而生產工藝自動化作用的比重占60%，其他因素占20%。當然，在已經解決了生產工藝的問題以后，空氣凈化就是主要矛盾，例如超大規(guī)模集成電路，沒有潔凈的環(huán)境，則幾乎是生產不出來的。