凈化工程未來(lái)發(fā)展和應(yīng)用趨勢(shì)
潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
隨著我國(guó)人民生活水平提高，人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來(lái)越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已經(jīng)開始進(jìn)入千家萬(wàn)戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。
我國(guó)的潔凈技術(shù)和設(shè)備與國(guó)外先進(jìn)國(guó)家相比差距是明顯的，我國(guó)1965年才開始生產(chǎn)的HEPA過(guò)濾器，比國(guó)外了十五年。1975年開始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計(jì)數(shù)器比國(guó)外晚了二十年。0.1微米潔凈技術(shù)和設(shè)備在國(guó)際上先進(jìn)國(guó)家已成為成熟技術(shù)，我國(guó)則剛剛起步。
世界各工業(yè)先進(jìn)國(guó)家為適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展，對(duì)大量使用的高效過(guò)濾器的研究從未終端，幾年來(lái)一直在開發(fā)不同結(jié)構(gòu)不同性能的新產(chǎn)品，美國(guó)自1979年開始研制0.1微米ULPA過(guò)濾器，1984年美國(guó)AAF公司開始生產(chǎn)0.1微米無(wú)隔板ULPA過(guò)濾器，目前0.1為嘛ULPA過(guò)濾器在美國(guó)AAF公司、FLANDERS公司和CAMBIDGE公司已形成商品化生產(chǎn)。日本也已成為世界上生產(chǎn)0.1微米ULPA過(guò)濾器廠家最多的國(guó)家，品種發(fā)明多，產(chǎn)品系列化，尤其是低壓損型0.1微米ULPA過(guò)濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術(shù)難題。國(guó)際市場(chǎng)對(duì)高效空氣過(guò)濾器的需求量很大，且每年均有增長(zhǎng)，目前日本每年銷售超過(guò)100萬(wàn)臺(tái)，按每臺(tái)平均價(jià)格200美元計(jì)算，銷售額達(dá)2億美元。我國(guó)高效空氣過(guò)濾器市場(chǎng)需求量已接近每年10萬(wàn)臺(tái)，占國(guó)際市場(chǎng)的2%-4%，但至今還沒有0.1微米ULPA過(guò)濾器生產(chǎn)，用于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)潔凈廠房及各種高科技領(lǐng)域潔凈廠房的0.1微米ULPA過(guò)濾器目前還要以來(lái)進(jìn)口。